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准分子激光应用于智能手机显示屏生产:鸭脖官方网站

by admin on 2021年6月13日

本文摘要:智能手机的普及促进了智能手机市场的快速增长,市场对更高规格产品的拒绝度也在提高,包括显示器大小、分辨率和电池寿命。

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智能手机的普及促进了智能手机市场的快速增长,市场对更高规格产品的拒绝度也在提高,包括显示器大小、分辨率和电池寿命。准分子激光退火(ExcimerLaserAnnealing,ELA)将非晶硅(a-Si)改为多晶硅(p-Si),使电子迁移率提高数百倍,从而提高高端薄膜晶体管或显示器的像素密度。

准分子激光束系统需要用于加工智能手机和OLED电视的活动矩阵驱动LCD (AMLCD)和活动矩阵有机发光二极管面板(AMOLED)。最近,ELA系统可以在精密的圆柱形光(750mm0.4mm)上传输均匀分布的线性光束(大小为750mm 0.4mm),从而在第八代面板上配置缓慢的热处理。

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智能手机市场的市场需求平板显示器(FPD)制造商必须面对越来越苛刻的拒绝,如更高的分辨率、更高的对比度、更慢的响应时间和降低显示器功耗。图1、晶体随机横向生长的结构图(左)和ELA过程的典型晶粒模式(右)提供了比普通显示器(非晶硅背板)更好的性能。

智能手机和平板电脑上高性能显示器的分辨率平均为300像素/英寸以上的iphone iphone 5的Retina显示器就是一个很好的例子。该特性是导电背板具有较高的电子移动率,导电背板正是来自非晶硅。准分子激光退化技术使平板显示器制造业从非晶硅转变为多晶硅背板。

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该技术具有低温加工的特点,因此被称为LTPS (LowTemperaturePolysilicon),这在一定程度上受限于生产新兴的OLED显示器和灵活的显示器。随着智能手机市场的快速增长,低温多晶硅在活动矩阵平面显示器上,硅是薄膜晶体管(TFT)矩阵的半导体基础,TFT矩阵需要掌握每个独立国家的像素。最初,薄膜沉积是通过传统沉积技术处理的,例如在半透明玻璃基板上使用PECVD方法。

获得的硅胶薄膜只不过是无定型,显示有相当大的遗漏,因此可以应用于主动矩阵控制型液晶屏和OLED显示器。多晶硅可以克服这种不足。

也就是说,多晶硅的流动率低100倍。图2,相关公司准分子激光系统及光束管理方案。

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